태양광 설비 Dry Pump Maker

국내

Edwards : 3만리터, 태양광 설비에서 가장 많이 사용 중

(https://www.edwardsvacuum.com/ko-kr/semiconductor/our-products/dry-pumps)

 

LOT Vacuum : 3만 리터태양광 설비 초기에 많이 사용 되었으나 현재는 조기 퇴출 상태....

 

PFEIFFER Vacuum : 3만 리터, 플라즈마 장비에서는 사용하지 않으며 다른 공정에서 DEMO 개념으로 일부 진행 중

 

중국 : 장비사는 알 수 없으나 현재 사용 중인 Maker

Hanbel : 3만 리터, 다행이 국내 판매처가 있음

(http://hbvackorea.com/product/pump)

 

Grand Hitek : 3만 리터,  아직 국내 판매처를 찾지 못함

(https://en.grandhitek.com.cn/lingyu_detail/6.html)